多尺度高分辨成像系統(tǒng),可搭配高達(dá)300KV的微焦點射線源,可以確保樣品穿透情況下同時達(dá)到高精度檢測能力,適合大尺寸、中高密度的樣品的高分辨率檢測需求。
多尺度高分辨成像系統(tǒng),可搭配高達(dá)300KV的微焦點射線源,可以確保樣品穿透情況下同時達(dá)到高精度檢測能力,適合大尺寸、中高密度的樣品的高分辨率檢測需求。
技術(shù)參數(shù):
像素矩陣 | 3072x3072 |
成像面積 | 427mmx427mm |
最高電壓 | 300kV/240kV/225kV/190kV/160k |
空間分辨率 | 2μm |
像素細(xì)節(jié)分辨能力 | 500nm |
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